结构简单，布局紧凑：外形尺寸小，占地面积少，运行稳定，操作方便，运行、保养和维修成本较低。

工作无油：泵腔体内无润滑介质，内部无油，不耗油，无滴漏，不用担心高真空状态下油气返流至客户端，无油气和油雾排放，可获得洁净真空，可抽含有少量小颗粒的空气，转子不易磨损，运行平稳，使用寿命长。可抽可凝性气体。转子有防腐涂层，不易腐蚀。

水冷设计：干式螺杆泵采用水冷设计，提高冷却效率，降低真空泵温度。

真空度高，抽速大：前级泵为干式螺杆泵，采用专为其开发的转子型线，型线密封好，变螺距转子，结构更复杂，精度更高，可高速运转，转子无接触，无需润滑介质，极限真空度高。在接近极限真空度的过程中，抽气速率会不断降低，这时作为主泵的罗茨泵发挥其优势，为机组提供抽速，在高真空区域也可保证较大抽速，能耗较小。